가스플랜트 화학기체 공급 시설의 정확도 높은 유량 측정 방법

산업용 가스 플랜트에서는 질소(N₂), 산소(O₂), 수소(H₂), 헬륨(He), 이산화탄소(CO₂)와 같은 핵심 기체의 안정적 공급이 매우 중요합니다.

특히 반도체, 전자 제조, 제약, 화학 공정 등에서는 유량 측정의 정확성이 생산 품질, 안전성, 규정 준수와 직결되기 때문에

정확도 높은 계측장비를 사용해야 합니다.

가스플랜트 화학기체 공급 시설의 정확도 높은 유량 측정 방법

 

한 반도체 공장에서는 기존에 사용하던 다이어프램 가스계량기와 열 질량 유량계에서 다음과 같은 한계를 겪었습니다..

 

📌 열 질량 유량계 → 가스별 교정 필요, 깨끗한 매체만 사용 가능, 높은 투자비용 발생
📌 다이어프램 계량기 → 유지보수 주기 짧음, 소유량 배관에만 적합
📌 연간 교정·감사 필수 → 가동 중단 및 비용 증가
📌 질소 퍼징 공정 발생 → 반도체 고순도 공정에서 추가 비용 부담

 

결과적으로, 정밀한 유량 측정 불가 + 유지보수 비용 증가 + 예측 유지보수 불가라는 문제가 있었습니다.

 

추천 솔루션: Rosemount 3051SFC 소형 오리피스 유량계 + 3051SMV 트랜스미터

이를 해결하기 위해 에머슨의 소형 오리피스 유량계와 트랜스미터를 조합을 적용하여

온도 보정된 질량 유량 측정, 연간 감사 및 잦은 교정 불필요 → 예측 유지보수(Predictive Maintenance)를 가능하게 했습니다.

 

• ±1.0% 질량 유량 정확도 달성
• 고유량·저유량 조건 모두에서 안정적 측정
• 온라인 교정(Non-stop Calibration) 지원 → 가스 공급 중단 없이 교정 가능
• 배관 관통 최소화 → 가스 순도 유지, 설치·배선 단순화
• 예측 유지보수 기반 운영 안정성 확보

반도체 공장은 초기 도입 후,

2~3년에40~60세트를 에머슨 솔루션으로 교체했습니다.

Rosemount™ 3051SFC 컴팩트 오리피스 유량계 적용 사례

 

 

가스플랜트의 화학적 성질을 가진 기체를 공급할 때 정확도 높은 유량 측정 방법은 매우 중요합니다.

Rosemount 3051 SMV 차압식 DP유량계로 안전성과 신뢰성을 강화했으며, 예측 유지보수 기반의 운영을 가능하게 합니다.

Rosemount 3051SMV 주요 특징

📌 차압, 정압, 온도 동시 측정 (MultiVariable)
📌 질량 유량·체적 유량 계산 내장
📌 최대 ±0.025% 정확도 (Ultra Class)
📌 최대 200:1 Rangeability
📌 15년 안정성 보장, 장기 신뢰성 우수
📌 WirelessHART® 옵션 → 원격 모니터링 가능

Rosemount 3051SMV 사양 정보
측정 변수	차압, 정압, 온도, 유량, 에너지
정확도 (Ultra Class)	±0.025% of span
Rangeability	200:1
압력 범위	0.3 ~ 4,000 psi (Coplanar)0.3 ~ 10,000 psi (In-line)
온도 입력	RTD Pt100 (-200 ~ 850°C)
장기 안정성	15년
출력	4-20mA HART®, WirelessHART®
통신	HART®, Fieldbus, WirelessHART®
설치 형식	Coplanar / In-line
특징	멀티변수 측정, 유량 계산 내장, 온라인 교정 지원

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가스플랜트 및 화학 기체 공급 시설에서
정확도, 신뢰성, 유지보수 효율성을 확보하려면

에머슨 Rosemount 3051SMV MultiVariable™ 트랜스미터 + DP 오리피스 플로우미터 솔루션이 최적의 선택이 될 수 있습니다.

 

CM Solution은 플랜트 계측기술/자동화 솔루션 전문 엔지니어링 파트너로서,
현장 맞춤형 상담과 최적화된 계측기기를 제안드립니다.

 

공정에 최적화된 장비 선정 및 기술 지원은
전문 엔지니어와 상담을 통해 최적 솔루션으로 대응해 드립니다.

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