반도체 팹과 제약 클린룸은 청정도, 실간 차압, 환기 횟수가 곧 품질과 직결되기 때문에
공조 풍량이 설정 범위를 벗어나는 순간을 놓치면 안 됩니다.
문제는 필터가 서서히 막히거나 댐퍼 개도가 바뀌어도 풍량 변화를 현장에서 바로 알아채기 어렵다는 점입니다
또 온도와 압력이 달라지는 공기는 체적 유량만으로는 정확한 관리가 어렵습니다.
EPI Series 500 & 540 ValuMass는 열식(Thermal Dispersion) 방식으로
공기의 질량유량을 직접 측정하는 유량계로,
별도의 온도·압력 보정 계산 없이 풍량을 감시할 수 있습니다.
배관 조건에 맞춰 인라인(Series 500)과 삽입형(Series 540) 중 선택하실 수 있습니다.
공정 개요
외기 도입 → 프리/미들 필터 → 공조기(AHU) → HEPA/ULPA 필터 → 급기 덕트 풍량 감시 → 클린룸(반도체 팹·제약 제조실) → 환기·배기 덕트 풍량 감시 → 배기 또는 재순환
반도체 팹은 미세 입자 관리를 위해, 제약 클린룸은 실간 차압과 환기 횟수 관리를 위해
급기와 배기 풍량이 일정하게 유지되어야 합니다. 이 풍량을 상시 감시하는 계기가 열식 질량유량계입니다.
계기의 역할
- 급기·배기 풍량 상시 감시: 설정 풍량을 벗어나면 이벤트 릴레이(1A @ 30VDC)로 경보를 출력합니다.
- 필터 막힘, 댐퍼 상태 변화에 따른 풍량 저하를 조기에 파악합니다.
- 급기와 배기 풍량 밸런스를 확인해 실간 차압 관리를 지원합니다.
- 순시 유량과 적산 유량을 현장 LCD로 바로 확인할 수 있습니다.
- 4-20mA, RS485 Modbus RTU, 옵션 BACnet으로 BMS나 모니터링 시스템과 연동합니다.
추천 솔루션: EPI ValuMass Series 500 (배관 단관) & Series 540 (삽입형)
| EPI ValuMass Series | Series 500 (인라인) | Series 540 (삽입형) |
| 형태 | 유량 섹션 일체형 (3.5" 길이, MNPT 연결) | 1/2" OD 프로브를 배관·덕트에 삽입 |
| 적용 크기 | 배관 1/4" ~ 2" | 프로브 길이 6" ~ 24" |
| 적합한 곳 | 소구경 배관, 전용 공급 라인 | 기존 배관·덕트에 후설치 |
주요 특징
- 열식 질량유량 측정: 온도·압력 보정 없이 질량유량을 직접 출력
- 16-bit 선형화 기술 적용, 접액부 316L 스테인리스 스틸
- 100:1 턴다운, 최소 10 SFPM(0.05 NMPS)까지 측정 가능해 저풍량 감시에 유리
- 4-20mA, 0-5V, 주파수(0-1kHz) 출력과 RS232/RS485 Modbus RTU 통신 지원, 옵션으로 HART · Profibus DP · BACnet 선택 가능
- 2줄 16문자 백라이트 LCD와 4버튼 키패드로 현장에서 유량, 적산, 온도, 이벤트 확인
- 전원 24VDC 기본, AC 전원 옵션(115/120VAC, 230/240VAC)
- NIST 추적 교정, CE 인증
측정 원리
EPI 열식 질량유량계는 대류 열전달 원리로 가스 질량유량을 직접 측정하는 계측기입니다.
센서는 기준급 RTD(저항 온도 검출기) 두 개로 구성됩니다.
마이크로컨트롤러가 한 센서를 가열하고, 다른 센서는 기준 온도를 감지합니다.
공기가 흐르면 가열된 센서에서 열이 빼앗기고,
이 열 손실량이 곧 공기의 질량 유속에 비례합니다(정온도 풍속계, CTA 방식).
온도 보상이 되어 있고 압력 변화에 둔감하므로 출력 신호가 그대로 질량유량 신호가 됩니다.
즉, 클린룸 공조 덕트처럼 온도·압력이 변하는 공기 라인도 별도 보정 계산 없이
질량 기준 풍량으로 일관되게 감시할 수 있습니다.
소구경 전용 라인은 Series 500, 기존 덕트나 배관에 후설치할 때는 Series 540을 선택하시면 됩니다.
다만 열식은 건조 가스 기준이고, 유량 프로파일이 흐트러지는 설치 조건은 오차 원인이 될 수 있으므로
직관부를 충분히 확보해 주세요.
제품 사양 요약
| 측정 원리 | 열식(Thermal Dispersion) 질량유량 |
| 정확도 | ±(1% of Reading + 0.5% of Full Scale + GTC) |
| 재현성 | ±0.2% of Full Scale |
| 턴다운 | 100:1 (최소 10 SFPM) |
| 응답 시간 | 최종값의 63%까지 1초 |
| 출력 | 4-20mA, 0-5V (유량·온도), 주파수 0-1kHz |
| 통신 | RS232/RS485 Modbus RTU, 옵션 HART · Profibus DP · BACnet |
| 이벤트 릴레이 | 1A @ 30VDC (2점 옵션) |
| 공정 가스 온도 | -40 ~ 200°C |
| 전자부 주변 온도 | -40 ~ 70°C |
| 최대 압력 | 500 PSIG (스테인리스 페룰) / 25 PSIG (테프론 페룰) |
| 접액부 재질 | 316L 스테인리스 스틸 |
| 전원 | 24VDC (AC 옵션) |
| 표시부 | 2줄 16문자 백라이트 LCD |
| 교정 | NIST 추적 교정 |
적용 분야
- 반도체 제조(Semiconductor Fabrication) 및 제약 클린룸 공조
- 환기 후드 경보(Ventilation Hood Alarm)
- 압축공기 사용량 감시
- 질소 퍼지 라인
- 보일러 연소 효율 관리, 천연가스 사용량 계측
- 바이오·소화가스 발생량, 매립가스 회수
- 폐수 포기(에어레이션), 굴뚝·배가스 라인
- 식품, 제지 공정
납기
주문 제작 사양으로 약 8주 소요됩니다.
금액
배관 사이즈, 프로브 길이, 출력·통신 옵션에 따라 달라지므로
사양 확인 후 견적 안내드립니다.
클린룸 공조 풍량은 한 번 어긋나면 품질 이슈로 이어지기 쉽지만,
눈에 보이지 않아 놓치기 쉬운 항목입니다.
EPI Series 500 & 540은 질량유량을 직접 측정하고 BMS 연동까지 가능해,
풍량 관리를 상시 감시 체제로 바꾸는 데 적합한 솔루션입니다.
클린룸 공조 덕트 사이즈, 풍량 범위, 필요한 출력·통신 방식을 알려주시면
적합한 제품 선정을 드리겠습니다.
씨엠솔루션 기술영업부
TEL 010-3997-6230
E-MAIL sjpark@flowmeters.co.kr
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